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机译:设备或确定随机过程不对称因素
公开/公告号SU1339598A1
专利类型
公开/公告日1987-09-23
原文格式PDF
申请/专利权人 KB POLT I IM.V.V.KUJBYSHEVA;
申请/专利号SU19864059722
发明设计人 VOLKOV IGOR ISU;YAKIMOV VLADIMIR NSU;
申请日1986-04-22
分类号G06G7/52;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 07:13:23
机译: 确定窄带随机过程阻尼因子的装置
机译: 确定随机过程不对称系数的装置
机译: 用于确定微结构处的不对称性的检查设备和方法,光刻设备,光刻处理单元以及设备制造方法