解决方案:在氧浓度为18 vol。%和/或蒸汽浓度为12 g / m 版权:(C)2008,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2007335583A
专利类型
公开/公告日2007-12-27
原文格式PDF
申请/专利权人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD;
申请/专利号JP20060164832
申请日2006-06-14
分类号H01L21/318;B65D85/86;B65D81/26;H01L33/00;H01S5/323;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 20:20:36