公开/公告号EP1493179B1
专利类型
公开/公告日2007-12-12
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申请/专利权人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS;
申请/专利号EP20020773835
发明设计人 BINNS M. J.MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC.;FALSTER R. J.MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC.;LIBBERT J. L.MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC.;
申请日2002-10-21
分类号H01L21/322;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 20:00:53