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Phase-change memory units, methods of forming the phase-change memory units, phase-change memory devices having the phase-change memory units and methods of manufacturung the phase-change memory devices

机译:相变存储单元,形成相变存储单元的方法,具有相变存储单元的相变存储器件以及制造相变存储器件的方法

摘要

A phase-change memory unit includes a lower electrode on a substrate, a phase-change material layer pattern including germanium-antimony-tellurium (GST) and carbon on the lower electrode, a transition metal layer pattern on the phase-change material layer pattern, and an upper electrode on the first transition metal layer pattern. The phase-change memory unit may have good electrical characteristics.
机译:相变存储单元包括:基板上的下部电极;下部电极上的包括锗-锑-碲(GST)和碳的相变材料层图案;在相变材料层图案上的过渡金属层图案以及在第一过渡金属层图案上的上电极。相变存储单元可以具有良好的电特性。

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