公开/公告号WO2007078148A3
专利类型
公开/公告日2009-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY;KIM YOUNG HO;OH TAE SUNG;LEE SANG MOK;
申请/专利号WO2007KR00032
申请日2007-01-03
分类号H01L21/603;H01L21/02;H01L21/60;H01L23/482;H01L23/50;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:21:56