公开/公告号US8002946B2
专利类型
公开/公告日2011-08-23
原文格式PDF
申请/专利权人 RICHARD LEWINGTON;MICHAEL N. GRIMBERGEN;KHIEM K. NGUYEN;DARIN BIVENS;MADHAVI R. CHANDRACHOOD;AJAY KUMAR;
申请/专利号US20060589337
发明设计人 RICHARD LEWINGTON;MICHAEL N. GRIMBERGEN;KHIEM K. NGUYEN;MADHAVI R. CHANDRACHOOD;DARIN BIVENS;AJAY KUMAR;
申请日2006-10-30
分类号C23F1/00;H01L21/306;C23C16/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 18:11:27