公开/公告号WO2013016532A1
专利类型
公开/公告日2013-01-31
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申请/专利权人 MKS INSTRUMENTS INC.;DAVIDKOVICH VLADISLAV;RYAN MARTIN;CHAMBERLAIN DAVID;SULLIVAN PHILIP W.;LUCAS PAUL D.;HILLHOUSE JOHN THOMAS;KRMPOTICH ROBERT;
申请/专利号WO2012US48338
发明设计人 DAVIDKOVICH VLADISLAV;RYAN MARTIN;CHAMBERLAIN DAVID;SULLIVAN PHILIP W.;LUCAS PAUL D.;HILLHOUSE JOHN THOMAS;KRMPOTICH ROBERT;
申请日2012-07-26
分类号G05D16/20;C23C16/52;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 16:35:10