公开/公告号WO2013103609A1
专利类型
公开/公告日2013-07-11
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;BUSCHBECK WOLFGANG;HENRICH JUERGEN;LOPP ANDREAS;PONNEKANTI HARI K.;POLYAK ALEXANDER S.;LHEUREUX JAMES;COX MICHAEL S.;LANE CHRISTOPHER T.;HAMMOND EDWARD P. IV;MUNGEKAR HEMANT P.;SCHLAEFER SUSANNE;
申请/专利号WO2012US72272
发明设计人 BUSCHBECK WOLFGANG;HENRICH JUERGEN;LOPP ANDREAS;PONNEKANTI HARI K.;POLYAK ALEXANDER S.;LHEUREUX JAMES;COX MICHAEL S.;LANE CHRISTOPHER T.;HAMMOND EDWARD P. IV;MUNGEKAR HEMANT P.;SCHLAEFER SUSANNE;
申请日2012-12-31
分类号H01L31/18;H01L31/042;H01L31/0216;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 16:31:53