公开/公告号KR20140116120A
专利类型
公开/公告日2014-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号KR20147020017
发明设计人 PONNEKANTI HARI K.;POLYAK ALEXANDER S.;LHEUREUX JAMES;COX MICHAEL S.;LANE CHRISTOPHER T.;HAMMOND EDWARD P. IV;MUNGEKAR HEMANT P.;SCHLAEFER SUSANNE;BUSCHBECK WOLFGANG;HENRICH JUERGEN;LOPP ANDREAS;
申请日2012-12-31
分类号H01L31/18;H01L31/042;H01L31/0216;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:42:01