公开/公告号JP2014029999A
专利类型
公开/公告日2014-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL CO LTD;
申请/专利号JP20130134149
申请日2013-06-26
分类号H01L21/304;C09J179/08;C09J11/04;C09J11/06;C09J4;C09J163;C09J123;C09J183/04;C09J7/02;H01L21/301;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:17:49