公开/公告号JP5698719B2
专利类型
公开/公告日2015-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド;
申请/专利号JP20120204729
发明设计人 チャン;メイ;ツウ;グォ-チュアン;カオ;チェン‐テー;チャン;ユウ;ユアン;シャオシャン(ジョン);クアン;ウィリアム;ファン;シー‐エン;オア;デイヴィッド ティー.;ルー;シンリアン;ウモトイ;サルバドル;ピー.;チョウ;ジン‐ペイ(コニー);
申请日2012-09-18
分类号H01L21/316;H01L21/205;H01L21/3065;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 15:28:32