机译:氧等离子体蚀刻在磁性活性微波化学气相沉积系统中无意地沉积在室壁上的碳膜蚀刻。
机译:H辅助等离子体化学气相沉积法沉积碳膜的H_2 / N_2等离子体刻蚀速率
机译:氧等离子体改性澄清聚丙烯,以提高等离子体增强化学气相沉积法沉积的非晶态氢化碳薄膜的附着力
机译:微波等离子体增强化学气相沉积沉积硼掺杂碳纳米瓦尔薄膜的特征研究
机译:原位等离子体分析,通过等离子体增强化学气相沉积法沉积在Si上的氟化非晶碳和氢化非晶碳薄膜的氟掺入,热稳定性,应力和硬度比较
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:He / H2 / CH4 / N2混合物的微波等离子体化学气相沉积法沉积超光滑纳米结构金刚石(USND)涂层的合成及机械磨损研究
机译:微波等离子体增强化学气相沉积技术沉积多壁碳纳米管 - 石墨烯复合薄膜的结构,场发射和氨气敏特性
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。