公开/公告号US9029235B2
专利类型
公开/公告日2015-05-12
原文格式PDF
申请/专利权人 PFC DEVICE CORP.;
申请/专利号US201414287173
申请日2014-05-26
分类号H01L21/76;H01L21/336;H01L29/812;H01L21/8249;H01L29/76;H01L21/762;H01L29/66;H01L29/861;H01L21/761;H01L29/80;H01L29/94;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:21:50