首页> 外文会议> >Impact Of Trench Sidewall Interface Trap In Shallow Trench Isolation On Junction Leakage Current Characteristics For Sub-0.25 /spl mu/m CMOS Devices

【24h】

Impact Of Trench Sidewall Interface Trap In Shallow Trench Isolation On Junction Leakage Current Characteristics For Sub-0.25 /spl mu/m CMOS Devices

机译：低于0.25 / splμm/ m CMOS器件的浅沟槽隔离中的沟槽侧壁界面陷阱对结漏电流特性的影响

获取原文

页面导航

著录项
相似文献
相关主题

著录项

来源
《》|2001年|P.119-120|共2页
会议地点
作者
Inaba; S.; Takahashi; M.;
展开▼
作者单位

展开▼
会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Total dose effects on the shallow-trench isolation leakage current characteristics in a 0.35 /spl mu/m SiGe BiCMOS technology [J] . Guofu Niu, Mathew S.J. IEEE Transactions on Nuclear Science . 1999,第6期

机译：0.35 / spl mu / m SiGe BiCMOS技术中的总剂量对浅沟槽隔离漏电流特性的影响
2. Junction leakage characteristics of shallow trench isolation (STI) with nitrogen pile-up sidewall oxide [J] . Myeong Won Lee, In Man Kang, Byung Yong Choi, 電子情報通信学会技術研究報告. シリコン材料·デバイス. Silicon Devices and Materials . 2003,第162期

机译：氮堆积侧壁氧化物的浅沟槽隔离（STI）的结泄漏特性
3. Junction leakage characteristics of shallow trench isolation (STI) with nitrogen pile-up sidewall oxide [J] . Myeong Won Lee, In Man Kang, Byung Yong Choi, 電子情報通信学会技術研究報告. 電子デバイス. Electron Devices . 2003,第159期

机译：氮堆积侧壁氧化物的浅沟槽隔离（STI）的结泄漏特性
4. Impact Of Trench Sidewall Interface Trap In Shallow Trench Isolation On Junction Leakage Current Characteristics For Sub-0.25 /spl mu/m CMOS Devices [C] . Inaba S., Takahashi M., Institute of Electric and Electronic Engineer Symposium on VLSI Technology . 2001

机译：沟槽侧壁接口陷阱在浅沟槽隔离上的影响漏电电流特性，用于子0.25 / SPL MU / M CMOS器件
5. Shallow trench isolation for CMOS. [D] . Ghanta, Lakshmi Deepika. 2014

机译：CMOS的浅沟槽隔离。
6. Speckle Defect by Dark Leakage Current in Nitride Stringer at the Edge of Shallow Trench Isolation for CMOS Image Sensors [O] . Woo-yang Jeong, Keun-man Yi 2009

机译：CmOs图像传感器浅沟槽隔离边缘氮化物纵梁暗漏电流斑点缺陷

Impact Of Trench Sidewall Interface Trap In Shallow Trench Isolation On Junction Leakage Current Characteristics For Sub-0.25 /spl mu/m CMOS Devices

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅