公开/公告号US9041010B2
专利类型
公开/公告日2015-05-26
原文格式PDF
申请/专利号US201313904918
申请日2013-05-29
分类号H01L21/02;H01L29/20;H01L29/66;H01L29/16;H01L29/40;C30B30/08;C30B9/10;C30B19/02;C30B19/10;C30B29/36;C30B33/02;H01L29/10;C30B29/40;H01L29/872;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:19:32