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Wafer contacting a direction and arrangement and method for the electrochemical etching of a wafer

机译:晶片接触方向,用于晶片的电化学蚀刻的装置和方法

摘要

A wafer contacting a direction, comprises: a pickup area (30), which is configured to receive a wafer; and an elastically deformable support (50), which in the pickup area (30) is arranged and an electrically conductive surface area (8) contains.
机译:一种与方向接触的晶片,包括:拾取区域(30),其被配置为接收晶片;以及弹性变形支撑件(50),其在拾取区域(30)中布置并且包含导电表面区域(8)。

著录项

  • 公开/公告号DE102014113032A1

    专利类型

  • 公开/公告日2015-03-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;

    申请/专利号DE201410113032

  • 发明设计人 FRIEDRICH KRÖNER;INGO MURI;

    申请日2014-09-10

  • 分类号H01L21/673;H01L21/306;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 14:55:08

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