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机译:蒸发源流体辅助热管理的薄膜沉积方法
公开/公告号US2016289817A1
专利类型
公开/公告日2016-10-06
原文格式PDF
申请/专利权人 SIVA POWER INC.;
申请/专利号US201615082302
发明设计人 ROBERT G. WENDT;MARKUS EBERHARD BECK;ULRICH ALEXANDER BONNE;
申请日2016-03-28
分类号C23C14/26;F25B39/00;H01L31/046;H01L31/18;H01L51/00;H01L31/032;C23C16/448;H01L51/56;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:34:51
机译: 蒸发源的流体辅助热管理的薄膜沉积方法
机译: 蒸发源流体辅助热管理的薄膜沉积方法