公开/公告号US2018073127A1
专利类型
公开/公告日2018-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SIVA POWER INC.;
申请/专利号US201715728759
申请日2017-10-10
分类号C23C14/26;H01L51/56;H01L31/046;H01L31/18;H01L31/032;H01L51/00;C23C14/24;F25D17/02;F25B39/00;C23C16/52;C23C16/448;C23C16/28;C23C16/02;C23C14/54;F25B39/02;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:04:46
