公开/公告号US9816175B2
专利类型
公开/公告日2017-11-14
原文格式PDF
申请/专利权人 SIVA POWER INC.;
申请/专利号US201615082302
申请日2016-03-28
分类号H01L31/00;C23C14/26;H01L31/046;C23C16/448;F25B39/00;H01L31/032;H01L31/18;H01L51/00;H01L51/56;C23C16/02;C23C16/28;C23C16/52;C23C14/24;C23C14/54;F25D17/02;F25B39/02;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:57:18