公开/公告号US9530708B1
专利类型
公开/公告日2016-12-27
原文格式PDF
申请/专利权人 HRL LABORATORIES LLC;
申请/专利号US201313906750
发明设计人 HASAN SHARIFI;KEISUKE SHINOHARA;MARY C. MONTES;CHARLES MCGUIRE;WONILL HA;JASON MAY;HOOMAN KAZEMI;JONGCHAN KANG;ROBERT G. NAGELE;
申请日2013-05-31
分类号H01L21;H01L23/12;H01L21/58;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:42:10