公开/公告号US10032490B2
专利类型
公开/公告日2018-07-24
原文格式PDF
申请/专利号US201615289351
申请日2016-10-10
分类号G01R19;G11C7/06;H01L21/28;G11C11/419;H01L21/8234;H01L23/528;H01L23/552;H01L27/02;H01L27/088;H01L27/11;H01L29/06;H01L21/20;H01L27/092;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:04:58