公开/公告号US10062712B1
专利类型
公开/公告日2018-08-28
原文格式PDF
申请/专利权人 NEWPORT FAB LLC;
申请/专利号US201715660104
申请日2017-07-26
分类号H01L21/8234;H01L27/12;H01L29/06;H01L23/535;H01L29/08;H01L21/02;H01L21/84;H01L21/762;H01L21/3105;H01L21/311;H01L27/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:02:58