公开/公告号US10068997B1
专利类型
公开/公告日2018-09-04
原文格式PDF
申请/专利权人 NEWPORT FAB LLC;
申请/专利号US201715627227
发明设计人 EDWARD J. PREISLER;
申请日2017-06-19
分类号H01L29/737;H01L29/08;H01L29/66;H01L29/04;H01L21/3065;H01L21/306;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:01:41