公开/公告号US2018171466A1
专利类型
公开/公告日2018-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 STEFAN KELLER;ANDRE BRÜNING;UWE SCHÜSSLER;THOMAS WERNER ZILBAUER;STEFAN BANGERT;APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201515737442
申请日2015-07-06
分类号C23C14/50;C23C14/34;H01J37/32;H01J37/34;H01M10/052;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:00:51