公开/公告号WO2017005290A8
专利类型
公开/公告日2018-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;KELLER STEFAN;BRÜNING ANDRE;SCHÜSSLER UWE;ZILBAUER THOMAS WERNER;BANGERT STEFAN;
申请/专利号WO2015EP65366
申请日2015-07-06
分类号C23C14/50;C23C14/56;H01J37/32;C23C14/34;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:47:19