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UNIPOLAR N- OR P-TYPE CARBON NANOTUBE TRANSISTORS AND METHODS OF MANUFACTURE THEREOF

机译:单极性n或p型碳纳米管晶体管及其制造方法

摘要

Devices, materials and methods for producing and integrating carbon nanotubes (CNT) into TFTs to form unipolar CNT TFTs are provided. CNT TFTs comprise doped layers between the CNT active layer and the source/drain electrodes capable of providing a carrier-trapping function such that unwanted carrier charge injection is suppressed between the electrodes allowing for the unipolar operation of CNT TFTs. Methods and apparatus for forming unipolar N- or P- type SWCNT TFTs are also provided.
机译:提供了用于将碳纳米管(CNT)生产和集成到TFT中以形成单极CNT TFT的装置,材料和方法。 CNT TFT在CNT有源层和能够提供载流子捕获功能的源/漏电极之间包括掺杂层,从而可以在电极之间抑制不需要的载流子电荷注入,从而实现CNT TFT的单极工作。还提供了用于形成单极N型或P型SWCNT TFT的方法和设备。

著录项

  • 公开/公告号WO2018204870A1

    专利类型

  • 公开/公告日2018-11-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ATOM NANOELECTRONICS INC.;

    申请/专利号WO2018US31230

  • 发明设计人 LI HUAPING;

    申请日2018-05-04

  • 分类号H01L29/06;H01L29/76;H01L29/786;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 12:42:02

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