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Patterned film articles and methods comprising cleavable crosslinkers

机译:包含可裂解的交联剂的图案化膜制品和方法

摘要

A patterned article comprising a copolymer having polymerized units derived from a cleavable crosslinkable monomer, wherein the pattern is imparted by releasing an initial acid from a thermal acid generator or a photoacid generator. By selectively releasing the acid, a pattern of high and low crosslink density results as a result of the initial acid cleaving some of the crosslinks. [Selection] Figure 2
机译:包括具有具有衍生自可裂解的可交联单体的聚合单元的共聚物的图案制品,其中通过从热酸产生剂或光酸产生剂释放初始酸来赋予图案。通过有选择地释放酸,由于初始酸裂解了一些交联,导致了高和低交联密度的图案。 [选择]图2

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