机译:真空蒸镀膜的厚度检测装置及真空蒸镀装置
公开/公告号US10385445B2
专利类型
公开/公告日2019-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 BOE TECHNOLOGY GROUP CO. LTD.;
申请/专利号US201615224760
申请日2016-08-01
分类号C23C14/52;C23C14/54;C23C14/24;H01L41/04;G01B17/02;G01B11/06;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:15:57