公开/公告号US10304934B2
专利类型
公开/公告日2019-05-28
原文格式PDF
申请/专利号US201816100353
申请日2018-08-10
分类号H01L21/3105;H01L21/768;H01L29/786;H01L29/417;H01L29/08;H01L29/06;H01L29/161;H01L29/20;H01L29/66;H01L21/02;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/285;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:13:28