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IINTEGRATED CIRCUIT DEVICE INCLUDING ASYMMETRICAL FIN FIELD-EFFECT TRANSISTOR

机译:包括不对称鳍式场效应晶体管的集成电路器件

摘要

An integrated circuit device includes: a first fin active region extending in a first direction parallel to a top surface of a substrate; a second fin active region extending in the first direction and spaced apart from the first fin active region in a second direction different from the first direction; a gate line intersecting the first and second fin active regions; a first source/drain region on one side of the gate line in the first fin active region; and a second source/drain region on one side of the gate line in the second fin active region and facing the first source/drain region, wherein a cross-section of the first source/drain region perpendicular to the first direction has an asymmetric shape with respect to a center line of the first source/drain region in the second direction extending in a third direction perpendicular to the top surface of the substrate.
机译:一种集成电路器件,包括:第一鳍片有源区,其在平行于衬底的顶表面的第一方向上延伸;以及第二鳍片有源区。第二鳍片有源区在第一方向上延伸并且在不同于第一方向的第二方向上与第一鳍片有源区间隔开;与第一和第二鳍有源区相交的栅线;在第一鳍片有源区中的栅极线的一侧上的第一源极/漏极区;在第二鳍片有源区中的栅极线的一侧上且面对第一源极/漏极区的第二源极/漏极区,其中第一源极/漏极区垂直于第一方向的横截面具有不对称形状相对于第一源/漏区在第二方向上的中心线沿垂直于基板顶表面的第三方向延伸。

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