公开/公告号US10563304B2
专利类型
公开/公告日2020-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201715482198
申请日2017-04-07
分类号H01L21/3215;H01L21/768;C23C14/34;H01L21/321;C23C14/54;H01L21/683;H01L21/285;C23C16/455;C23C14/58;C23C14/22;C23C16/02;C23C14/56;C23C16/56;H01J37/32;C23C14/02;H01L23/532;H01J37/34;H01J3/34;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:30:07