被成形用于物理气相沉积室中的线圈构造和形成线圈构造的方法

摘要

本发明包括被构造用于物理气相沉积室中的线圈构造，且还包括形成适用于物理气相沉积室的线圈构造的方法。所述线圈构造可包括从线圈本体的外周延伸出来的一个或多个隔套凸出部。所述隔套凸出部与所述线圈本体结合成一体，且具有在其中延伸的凹部，凸出唇缘整体围绕所述凹部延伸。所述隔套凸出部进一步包括在凹部内的紧固件接收器，所述接收器被构造以接收用于使所述线圈与所述室连接的紧固件。形成所述线圈构造的方法可包括确定与线圈更换套件相关的组件的独立部件以及形成可替换至少两个所述部件的一件式构造。