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公开/公告号CN102148215B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-06
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨理工大学;
申请/专利号CN201110023941.3
发明设计人 赵智力;孙凤莲;
申请日2011-01-21
分类号H01L23/52(20060101);H01L21/60(20060101);
代理机构23109 哈尔滨市松花江专利商标事务所;
代理人杨立超
地址 150040 黑龙江省哈尔滨市香坊区林园路4号哈理工大学南区材料学院317信箱
入库时间 2022-08-23 09:10:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-06
授权
2011-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/52 申请日:20110121
实质审查的生效
2011-08-10
公开
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