公开/公告号CN102104048B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-30
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200910201331.0
申请日2009-12-17
分类号H01L27/12(20060101);H01L29/78(20060101);H01L23/60(20060101);H01L21/84(20060101);H01L21/336(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所;
代理人余明伟;尹丽云
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:09:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-05-30
授权
授权
2011-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/12 申请日:20091217
实质审查的生效
2011-06-22
公开
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