基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器

摘要

一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极、U型双热臂复合梁电热驱动器、V型复合梁电热驱动器。所述U型双热臂复合梁电热驱动器包括U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂、U型双热臂聚合物驱动层和U型冷臂聚合物层；所述V型复合梁电热驱动器包括V型金属电阻丝、金属触点和V型聚合物驱动层。U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂和V型金属电阻丝完全被所述的U型双热臂聚合物驱动层、U型冷臂聚合物层和V型聚合物驱动层包裹，形成聚合物-金属-聚合物的三明治结构。本发明的电热微驱动器驱动位移较大、驱动刚度较高、功耗低、且能量利用率高。