柔性电热微夹钳的UV-LIGA制作工艺研究

摘要

本文采用正交试验法对UV LIGA技术制作柔性电热微夹钳过程中的前烘时间、曝光时间、后烘温度以及后烘时间四个因素进行优化研究，详细讨论了四个因素对胶模质量的影响，最终得到最优的光刻工艺参数。在此基础上，制作出高质量的微夹钳SU-8胶模并电铸出形貌完好的镍微夹钳，提高了工艺的稳定性和成品率，其中每个硅片上胶模的成品率达到了50%。并对试验过程中SU-8胶的表面不平度、胶模内应力以及胶模与基底结合力进行了分析与讨论。试验证明，在前烘和后烘之后分别安排一个放置松弛环节能够明显降低胶模内应力，同时也对提高V形梁处光刻胶与基底的结合力有很大帮助。