一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法

摘要

本发明一种柔性电热驱动微夹钳及制作工艺方法属于微机电系统技术领域中的微执行器，特别涉及一种柔性电热驱动微夹钳及其制作工艺方法。微夹钳是具有驱动部分和钳体柔性机构两部分的一个整体结构，由SU-8胶结构层和上、下电极金属层组成，并且左右结构完全对称。驱动部分采用Λ形梁阵列，钳体柔性机构部分为10杆柔性机构。本发明制作工艺方法的步骤包括氧化、涂胶、曝光、显影、腐蚀、溅射金属。该微夹钳夹持端温度较低，采用三层对称结构，夹持过程中不会发生法向弯曲。微夹钳中的柔性机构结构新颖，运动放大倍数大，夹持物体尺寸范围大，并且为整体结构，无需装配，制作简单，有助于实现生物微操作技术的实用化。