一种基于U+V型结构的电热微驱动控制光路通断装置

摘要

本发明公开了一种基于U+V型结构的电热微驱动控制光路通断装置，属于MEMS微驱动器技术领域。该装置包括驱动机构、锁止机构，其中驱动机构包括由N个U型悬臂梁相级联构成的驱动器、N对U型悬臂梁锚点以及N对U型悬臂梁电极贴片；锁止机构包括由M个V型悬臂梁构成的V型悬臂梁阵列、两个V型悬臂梁锚点以及两个V型悬臂梁电极贴片。通过在电极片上施加电压，将驱动机构可靠地锁止于非驱动或驱动状态，实现对高能光路的有效通断控制。相比于其他微驱动方式，本发明采用U型悬臂梁电热微驱动机构和V型悬臂梁锁止机构的逻辑配合，驱动可靠性高、能耗低、成本低且系统兼容性好，是一种性能优良的MEMS驱动器。