法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/68 授权公告日:20120321 终止日期:20150408 申请日:20100408
专利权的终止
2012-03-21
授权
授权
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20100408
实质审查的生效
2010-08-25
公开
公开
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