公开/公告号CN101989040B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-03-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200910056019.7
发明设计人 朴世镇;
申请日2009-08-06
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人李丽
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:09:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-07
授权
授权
2011-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/14 申请日:20090806
实质审查的生效
2011-03-23
公开
公开
机译: 由一个或多个处理器执行的一个或多个指令中的一个或多个指令中的一个,所述处理器执行用于形成光刻掩模版图的方法,用于形成光刻掩模版图的装置以及用于形成光刻掩模版图的方法。包含一个或多个序列的计算机可读介质。
机译: 模板掩模版图图案数据划分处理系统,模板掩模版图图案数据划分处理方法和计算机读取的程序,以执行模板掩模版图图案数据划分处理
机译: 掩模版图创建方法,掩模版图创建设备,光刻掩模制造方法,半导体器件制造方法和计算机可执行程序