公开/公告号CN101193732B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 施密德技术系统有限公司;
申请/专利号CN200680020809.4
申请日2006-05-26
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人张文
地址 德国尼德雷沙赫
入库时间 2022-08-23 09:08:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-12-21
授权
授权
2008-08-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-06-04
公开
公开
机译: 用于保持衬底的保持装置,包括保持装置的载体,使用该载体的处理系统,用于保持衬底的方法以及用于从保持装置释放衬底的方法
机译: 在处理室中的层沉积期间用于支撑衬底载体和掩模载体的保持装置,用于在衬底上沉积层的设备以及将掩模载体与支撑衬底的衬底载体对准的方法
机译: 在处理室中进行层沉积期间用于支撑衬底载体和掩模载体的保持装置,用于在衬底上沉积层的设备以及将掩模载体与支撑衬底的衬底载体对准的方法