ZnO/ZnMgO多量子阱紫外激光二极管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种ZnO/ZnMgO多量子阱紫外激光二极管及其制备方法。该紫外发光二极管衬底为生长在蓝宝石上的n型GaN，在衬底自下而上依次有由ZnO和Zn_1-xMg_xO交替沉积形成的ZnO/Zn_1-xMg_xO多量子阱有源层、p型NiO薄膜层和第二电极，第一电极与ZnO/Zn_1-xMg_xO多量子阱有源层并列沉积在n型GaN膜层上。其制备方法是首先用射频磁控溅射工艺在衬底上制备ZnO/Zn_1-xMg_xO多量子阱有源层；然后在n型ZnO薄膜层上溅射p型NiO薄膜层；最后制作第一电极和第二电极。ZnO/ZnMgO多量子阱紫外激光二极管具有较好的电致紫外自由激射发光特性，发光峰值波长在373nm左右，单根激射光线宽小于0.5nm。ZnO/ZnMgO多量子阱紫外激光二极管制备工艺简单、成本低廉，易于实现产业化。