公开/公告号CN101770964B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200810204833.4
申请日2008-12-30
分类号
代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙);
代理人翟羽
地址 201210 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:07:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20110914 终止日期:20181230 申请日:20081230
专利权的终止
2011-09-14
授权
授权
2011-09-14
授权
授权
2010-09-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20081230
实质审查的生效
2010-09-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20081230
实质审查的生效
2010-07-07
公开
公开
2010-07-07
公开
公开
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