包括用于减少聚合物沉积的RF吸收材料的等离子体限制环

摘要

设置等离子体限制环，使其适于在该环的等离子体暴露表面上达到足够高的温度以大大地降低在那些表面上的聚合物沉积。该等离子体限制环包括RF损耗材料，有效地增强在该环部分上的加热。低发射率材料可设置在该等离子体限制环组件的一部分上以增强加热效果。