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一种生长太阳电池用高迁移率绒面结构IMO/ZnO复合薄膜的方法

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一种生长太阳电池用高迁移率绒面结构IMO/ZnO复合薄膜的方法。此种技术生长IMO/ZnO薄膜分两个阶段进行。首先，利用溅射技术玻璃衬底上生长一层高迁移率IMO(IMO即Mo掺杂In

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-08-11

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 授权公告日:20110615 终止日期:20160619 申请日:20090619

专利权的终止
2011-06-15

授权

授权
2011-06-15

授权

授权
2010-01-13

实质审查的生效

实质审查的生效
2010-01-13

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-11-18

公开

公开
2009-11-18

公开

公开

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1. 一种生长太阳电池用高迁移率绒面结构IMO/ZnO复合薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN101582468B . 2011.06.15
2. 溅射法生长高迁移率绒面结构IMO/ZnO复合薄膜及太阳电池应用 [P] . 中国专利： CN101572279A . 2009-11-04
3. BASE MATERIAL FOR COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL MODULE, METHOD FOR MANUFACTURING BASE MATERIAL FOR COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, AND METHOD FOR MANUFACTURING COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL [P] . 日本专利： JP2016134494A . 2016-07-25

机译：复合薄膜太阳电池的基本材料，复合薄膜太阳电池，复合薄膜太阳电池模块，复合薄膜太阳电池的制造基本方法以及复合薄膜太阳电池的制造方法
4. COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, METHOD OF MANUFACTURING A COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, AND A COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL MODULE [P] . 美国专利： US2011155226A1 . 2011-06-30

机译：复合薄膜太阳电池，复合薄膜太阳电池的制造方法以及复合薄膜太阳电池模块
5. COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, METHOD OF MANUFACTURING COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, AND COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL MODULE [P] . 日本专利： JP2011155237A . 2011-08-11

机译：复合薄膜太阳电池，复合薄膜太阳电池的制造方法以及复合薄膜太阳电池模块