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溅射法生长高迁移率绒面结构IMO/ZnO复合薄膜及太阳电池应用

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摘要

一种磁控溅射技术生长新型高迁移率绒面结构IMO/ZnO透明导电薄膜及太阳电池应用的方法。此种技术生长IMO/ZnO薄膜分两个阶段进行。首先，利用溅射技术玻璃衬底上生长高迁移率IMO(即Mo掺杂In

公开/公告号CN101572279A

专利类型发明专利
公开/公告日2009-11-04

原文格式PDF
申请/专利权人南开大学;
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申请/专利号CN200910069202.0
发明设计人陈新亮;耿新华;薛俊明;张建军;赵颖;
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申请日2009-06-10
分类号H01L31/18;H01L31/20;H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/0236;H01L31/0224;C23C14/35;C23C14/06;
代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司;
代理人侯力
地址 300071 天津市南开区卫津路94号
入库时间 2023-12-17 22:57:19

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-07-28

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L31/18 授权公告日:20110615 终止日期:20160610 申请日:20090610

专利权的终止
2011-06-15

授权

授权
2009-12-30

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-11-04

公开

公开

1. 溅射法生长高迁移率绒面结构IMO/ZnO复合薄膜及太阳电池应用 [P] . 中国专利： CN101572279B . 2011.06.15
2. 一种生长太阳电池用高迁移率绒面结构IMO/ZnO复合薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN101582468B . 2011.06.15
3. BASE MATERIAL FOR COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL MODULE, METHOD FOR MANUFACTURING BASE MATERIAL FOR COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, AND METHOD FOR MANUFACTURING COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL [P] . 日本专利： JP2016134494A . 2016-07-25

机译：复合薄膜太阳电池的基本材料，复合薄膜太阳电池，复合薄膜太阳电池模块，复合薄膜太阳电池的制造基本方法以及复合薄膜太阳电池的制造方法
4. COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, METHOD OF MANUFACTURING A COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, AND A COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL MODULE [P] . 美国专利： US2011155226A1 . 2011-06-30

机译：复合薄膜太阳电池，复合薄膜太阳电池的制造方法以及复合薄膜太阳电池模块
5. COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, METHOD OF MANUFACTURING COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL, AND COMPOUND THIN FILM SOLAR CELL MODULE [P] . 日本专利： JP2011155237A . 2011-08-11

机译：复合薄膜太阳电池，复合薄膜太阳电池的制造方法以及复合薄膜太阳电池模块