末端执行器及带有该末端执行器的基片传送自动机械

摘要

在基片传送自动机械中的末端执行器，其包括：肘节板、以可沿垂直方向移动的方式连接至肘节板以支承第一基片的第一托板、和连接至肘节板以支承第二基片的第二托板，其中，第二托板靠近第一托板。升降装置向上移动所述第一托板以让所述第一托板支承所述第一基片，向下移动所述第一托板以让所述第二托板支承第二基片。