用于二次离子以及直接和间接二次电子的粒子检测器

摘要

描述了一种多用途高效带电粒子检测器，其通过切换偏置电压测量二次离子、或者来自样品的二次电子(SE)、或者源自背散射电子的二次电子(SE3)。检测器结构的基本版本和两个分解版本使其能够用于下列检测组合：1.主要版本用于一起测量二次离子、或者来自样品的二次电子、或者由于碰撞除样品以外的部分的背散射电子引起的二次电子，或者不测量来自样品的二次电子；2.测量二次离子或者来自样品的二次电子(不测量SE3)；3.测量来自样品的二次电子和/或由碰撞除样品以外的物体的背散射电子导致的二次电子(不测量离子)。