300mm以上蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法

摘要

本发明提供了一种300mm以上蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法。在300mm蓝宝石单晶生长炉内，完成装炉、真空条件下化料、引晶、放肩、等径生长、拉脱、冷却及退火及出炉工艺过程，本发明在原有冷心放肩微量提拉制备法基础上进行了很大改进，具有晶体尺寸更大，品质更高，尺寸更加合理，材料利用率更高，单位生产成本更低等优点，能够生长出尺寸大于Φ320×260mm、纯度高、缺陷密度低、光学性能好的蓝宝石单晶，能够更好地满足国防军工及民用领域对大尺寸、高品质蓝宝石晶体材料的需求，通过控制引晶形态，减少了缺陷发生的几率；同时通过改变提拉速度和降温速度，控制晶体肩部形态，减小了肩部应力，降低了晶体开裂的可能性。