基于特征选择的CZ硅单晶放肩阶段断棱的预测研究

目录

声明

1 绪论

1.1 研究背景及意义

1.2 CZ硅单晶生长工艺流程及放肩阶段常见问题

1.2.1 CZ硅单晶生长工艺流程

1.2.2 放肩阶段的常见问题

1.3 国内外研究现状

1.3.1 特征选择研究现状

1.3.2 半导体行业质量预测研究现状

1.4 本文的主要工作及组织结构

2 基于特征选择的放肩阶段断棱的预测研究概述

2.1 引言

2.2 放肩断棱预测研究的基本流程

2.3 相关基础理论概述

2.3.1 位错原理

2.3.2 特征选择算法

2.3.3 分类器

2.3.4 模型性能评估

2.4 本章小结

3 放肩阶段单晶炉的数据采集及数据预处理

3.1 引言

3.2 数据来源

3.3 数据预处理

3.3.1 数据采集

3.3.2 样本抽取

3.3.3 特征缩放

3.4 本章小结

4 放肩阶段断棱的相关性研究

4.1 引言

4.2 数据来源

4.3 实验结果与分析

4.3.1 运行平台

4.3.2 基于MIC的计算结果分析

4.3.3 基于MRMR的计算结果分析

4.3.4 基于Relief的计算结果分析

4.4 本章小结

5 放肩阶段断棱预测分析

5.1引言

5.2 参数设置平台

5.3 实验结果与分析

5.3.1 模型的训练集与测试集选取

5.3.2 LR实验结果与分析

5.3.3 LDA实验结果与分析

5.3.4 KNN实验结果与分析

5.3.5 CART实验结果与分析

5.3.6 模型验证

5.4 本章小结

6 总结与展望

6.1 工作总结

6.2 工作展望

参考文献

个人简历、在校期间发表的学术论文与研究成果

致谢